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室温真空探针台PSV系列

室温真空探针台PSV系列

PSV系列室温真空探针台,可对样品进行稳定的非破坏性表征。PSV系列室温真空探针台可选配高温样品座,升级成高温真空探针台。高温测试时,通过温控仪的PID闭环回路实现精确控温,温度范围:室温-800K(500K可选);通过外接不同的电学测量仪器,可在室温真空和高温真空环境下完成材料、器件的IV、CV、光以及微波等参数的电学测试。PSV系列真空探针台是的一款性能非常优秀的可变温探针台,它可以帮助科研人员深入探究材料或器件的各项物理与电学性能,为新材料的研发和应用提供关键的数据保证。

室温真空探针台PSV系列产品概述

PSV系列室温真空探针台,可对样品进行稳定的非破坏性表征。PSV系列室温真空探针台可选配高温样品座,升级成高温真空探针台。高温测试时,通过温控仪的PID闭环回路实现精确控温,温度范围:室温-800K(500K可选);通过外接不同的电学测量仪器,可在室温真空和高温真空环境下完成材料、器件的IV、CV、光以及微波等参数的电学测试。PSV系列真空探针台是的一款性能非常优秀的可变温探针台,它可以帮助科研人员深入探究材料或器件的各项物理与电学性能,为新材料的研发和应用提供关键的数据保证。


特点
• 真空腔极限真空度能够达到~10-4Torr。
• 真空腔材质为铝制材料,能够有效减小外界的电磁干扰提高测试的精准度和稳定性。

• 探针臂的位移调节在真空腔外操作,可以在不破坏真空的情况下,切换样品上的不同器件进行测试。

• 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节,能满足最大2英寸样品的测试。

• 标配四个直流探臂,最多可安装六个探针臂,可以选配:微波探针臂、光纤探针臂、热电偶探针臂。

• 直流探针臂采用三同轴接头,漏电性能好,实测漏电流小于100fA@1V@300K-800K。

• 温度范围可扩展,安装高温选件后,最大支持300K-800K连续变温。


室温真空探针台PSV系列技术参数

型号分类:

型号样品座尺寸
PSV-22英寸


参数和指标: 

样品座
样品座类型及材质:
无氧铜接地样品座
尺寸:
2/4英寸
可选配置:
接地样品座、绝缘样品座、同轴样品座、三同轴样品座
探针臂组件
类型:
直流探针臂
数量:
4个
接头和线缆:
三同轴接头
漏电流:
100fA@1V真空环境
信号频率:
直流~50MHz 交流
匹配阻抗:
50 Ω
探针针尖直径:
100μm铍铜探针
位移行程:
X-±35mm,Y-±12.5mm,Z-±6.5mm ,R-±10°
读数精度:
10μm
光学系统
显微镜放大倍数:
10~180 倍
分辨率:
3μm
视野范围:
可到 22mm
显微镜工作距离:
90~100mm
显微镜支架升级行程:
65mm
真空腔体
材料:
铝合金
腔体容积:
4/6L
外形尺寸:
800*800*600
腔体入口尺寸:
Ø124mm
可视窗口尺寸:
50mm
真空度:
5E-4 torr
真空抽口:
KF25法兰
真空腔体窗片:
红外绝热材质
防辐射屏窗片:
石英材质
充气阀接口:
Ø8 快拆接头
预留接口:
2个探针臂接口,2个电学接口
减振支架(选件)
尺寸(mm):800×800×870;桌脚:有固定脚和滚轮可调换