-
低温探针台包含开环低温探针台系列、闭环低温探针台系列及磁场低温探针台系列，能够为半导体芯片的电学参数测试提供高低温真空测试环境。
低温探针台
-
室温探针台包含紧凑型手动探针台系列和标准手动探针台系列，是一款高品质的探针台能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。
室温探针台
-
室温磁场探针台包含室温永磁铁探针台系列和室温电磁铁探针台系列，是一款专门针对室温可变磁场、垂直磁场电测环境开发的探针台，能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验。
室温磁场探针台
-
PSV系列室温真空探针台，可对样品进行稳定的非破坏性表征。PSV系列室温真空探针台可选配高温样品座，升级成高温真空探针台。高温测试时，通过温控仪的PID闭环回路实现精确控温，温度范围：室温-800K（500K可选）；通过外接不同的电学测量仪器，可在室温真空和高温真空环境下完成材料、器件的IV、CV、光以及微波等参数的电学测试。
室温真空探针台
-
全自动/半自动探针台对6"、8"的晶圆级各类器件的性能测试，可针对不同晶圆测试，可配备相应的仪器仪表，进行I-V、C-V、光信号等特性分析，设备功能丰富，可匹配多种测试应用环境，可升级大功率晶圆测试、射频测试、全自动测试并可加载温控系统，满足客户在高低温环境下的各种晶圆器件性能测试需求。
全自动/半自动探针台
