Lake Shore 低温探针台中低电流测量的注意事项
低电流测量-低于1na -是评估现有和新兴半导体器件的设计和制造质量的关键工具。在这种情况下，器件材料、生长参数或器件几何形状的修改可能会导致器件中不需要的和无关的电流路径。这些所谓的泄漏电流可能是由材料缺陷、栅极氧化物形态、衬底选择和电场分布造成的，并最终导致器件性能下降——通常是通过过度的功率损耗造成的。因为许多泄漏路径背后的物理机制都是众所周知的温度依赖性，所以低温探测测量可以成为一种有用的评估工具，以识别电流泄漏背后的精确机制，特别是对于新材料和器件架构。......
