永磁铁低温探针台PSM-PM系列
PSM-PM系列永磁铁低温探针台是一款专门针对低温垂直磁场电测环境开发的探针台，提供0.5T垂直磁场，能够对2寸、4寸、晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。永磁铁低温探针台PSM-PM系列，具体参数请咨询客服！
永磁铁低温探针台PSM-PM系列产品概述
随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件，要去测试它在低温环境或者变温环境下的的电学性能（如电流、电压、阻抗等）时，配有显微镜的低温探针台能够提供良好的低温电测环境。
永磁铁低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。
PSM-PM系列永磁铁低温探针台是一款专门针对低温垂直磁场电测环境开发的探针台，提供0.5T垂直磁场，能够对2寸、4寸、晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。
永磁铁低温探针台PSM-PM系列技术参数
参数和指标：
| 探针台主机分类 | ||||
| 型号 | PSM-PM-2 | PSM-PM-2H | ||
| 温度范围 | 80K--500K | 80K--800K | ||
| 控温稳定性 | +/-50mK | +/-100mk | ||
| 样品座 | ||||
| 类型及材料 | 无氧铜接地镀金样品座 | 无氧铜接地样品座 | ||
| 尺寸 | 2寸 | 2寸 | ||
| 可选规格 | 绝缘样品座 （温度只能到400K） 同轴样品座 （温度只能到400K） 三同轴样品座（温度只能到400K） | |||
| 探针臂 | ||||
| 类型 | 直流探针臂 | |||
| 数量 | 4 | |||
| 接头及电缆 | 三同轴接头+极细同轴低温电缆 | |||
| 漏电流 | 100fA@1V 真空环境中 | |||
| 信号频率 | DC--50MHz | |||
| 匹配阻抗 | 50欧姆 | |||
| 位移范围 | Z +/-6.5mm R+/-10° X+/- 50mm,Y+/- 12.5mm | |||
| 光学系统 | ||||
| 显微镜放大倍数 | 10--180倍 | |||
| 分辨率 | 3微米 | |||
| 视场 | 22mm | |||
| 工作距离 | 90--100mm | |||
| 真空腔 | ||||
| 材料 | 铝合金 | |||
| 腔体容积 | 4L | |||
| 整体尺寸 | 800*800*600 | |||
| 腔体内径 | 124mm | |||
| 视窗尺寸 | 0mm | |||
| 真空腔体窗口 | 红外吸收窗口 | |||
| 防辐射屏窗口 | N/A | 标准石英窗口 | ||
| 真空度 | 5*10E-4 torr | |||
| 预留接口 | 2个探针臂接口&2个电学接口 | |||
| 防辐射屏材料 | N/A | 不锈钢 | ||
| 液氮腔体 | ||||
| 液氮容量 | 0.5L | |||
| 冷却时间 | 60分钟到80K | |||
| 液氮消耗量 | 0.2L从室温到80K | |||
| 液氮保持时间 | 4小时@80K | |||
| 滑台 | ||||
| X-Y移动行程 | 2/4寸:X-Y轴±50mm | |||
| 读数精度 | 10μm | |||
| 永磁铁组件 | ||||
| 磁场大小 | 0.5T | |||
| 磁铁间距 | 30mm | |||
| 磁铁极面尺寸 | 50mm | |||
| 专用振动隔离桌 | ||||
| 尺寸 | 800*800*800 | 900*900*800 | ||
| 桌推 | 固定脚&滚轮 | |||
