产品简介

随着量子科技与微纳电子技术的高速发展，量子晶圆、量子芯片、超导量子器件、拓扑低维纳米材料等前沿领域，对测试温区极限、测试稳定性、微弱信号检测精度提出了全新的严苛要求。常规4K低温测试环境已难以满足超导临界特性、低温量子输运、超低噪声电学参数的高精度测试需求。为此，我司成功研发全球首款PSM-2K-2闭循环超低温探针台，填补了商用无液氦2K级超低温量子器件测试设备的行业空白，专为前沿量子科研与高端超导器件精密测试场景打造，精准覆盖4K温区无法企及的极限低温测试工况。

设备具备不可替代的前沿科研应用价值，可在＜2K–300K宽温域、高真空、超稳定低振动环境下，对量子晶圆、量子芯片、超导器件、低维拓扑材料等样品开展全维度非破坏性测试，精准捕捉低温量子输运特性、超导临界参数、微弱电学响应等核心微观性能数据，为量子材料创新研发、量子器件性能迭代、超导技术产业化落地提供关键技术支撑与高精度数据依据。

整机采用专项优化的超低振动结构设计，可实现优于500nm的极致低振动测试环境，彻底规避制冷机振动对微纳、量子器件高精度测试的信号干扰，保障微弱电学、量子信号的测试真实性与稳定性。设备硬件配置灵活丰富，可搭载直流探针臂、最高110GHz高频微波探针臂及光纤探针臂，集成电学、微波、光学一体化测试能力，构建多功能、高兼容、易拓展的综合光电测试平台，能够充分满足量子器件、超导芯片、低维材料多维度、高精度、超低温的前沿科研与产业化测试需求，是高端量子科学研究与先进器件研发的核心标杆设备。

产品特点

· 采用闭循环制冷，无需消耗液氦，最低温度2K；

· 优越的低振动设计，系统振动可低至500nm；

· 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试；

· 独特的探针臂X-Y-Z-R四维调节，能满足有效测试区域与样品摆放区域完全一致，均为2寸；

· 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰提高测试的精准度和稳定性；

· 直流探针漏电流小于100fA@1V@2K-300K；

· 微波探针臂最高频率可以达到110GH；

· 测试温度范围宽，最大支持2K-300K连续变温。