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4K闭循环低温探针台 PSM-4K系列

4K闭循环低温探针台 PSM-4K系列

PSM-4K系列低温探针台是一款闭循环低温探针台,紧凑型及低振动的设计,能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个<5K-350K高低温真空测试环境,通过外接不同的电学测量仪器,可完成材料/器件的IV、CV、光学以及微波等参数检测,实现低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。

4K闭循环低温探针台 PSM-4K系列产品概述


  4K闭循环低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试,帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能,从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。


  PSM-4K系列低温探针台是的一款性能优越的闭循环低温探针台,其紧凑型以及低振动的设计,能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个<5K-350K高低温真空测试环境。采用闭循环制冷,无需消耗液氦,温度4.5K。


特点
• 采用闭循环制冷,无需消耗液氦,温度4.5K。
• 探针臂的位移调节在真空腔外操作,可以在不破坏真空 的情况下,切换样品上的不同器件进行测试。
• 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节,能满足4英寸样品的测试。
• 真空腔材质为铝制材料,能够有效减小外界的电磁干扰,提高测试的精准度和稳定性。
• 探针臂采用三同轴接头,漏电性能好,实测漏电流小于100fA @1V@4.5K-350K。
• 测试温度范围宽,支持4.5K-350K连续变温。
• 独特设计的柔性探针,将探针安装到铜制弹片上,避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。

4K闭循环低温探针台 PSM-4K系列技术参数

参数和指标:

探针台主机分类
型号
PSM-4K-2
 PSM-4K-4
温度范围
4.5K--350K
4.5K--350K
控温稳定性
+/-50mK
振动
<1μm
样品座
类型及材料
无氧铜接地镀金样品座
尺寸2寸4寸
可选规格
绝缘样品座 (温度只能到350K)
同轴样品座 (温度只能到350K)
 三同轴样品座(温度只能到350K)
探针臂
类型
直流探针臂
数量4
接头及电缆
三同轴接头+极细同轴低温电缆
漏电流
100fA@1V 真空环境中
信号频率
DC--50MHz
匹配阻抗
50欧姆
位移范围X+/- 35mm,Y+/- 12.5m 
Z +/-6.5m R+/-10°
X+/- 50mm,Y+/- 12.5m 
Z +/-6.5m R+/-10°
光学系统
显微镜放大倍数
10--180倍
分辨率
3微米
视场
22mm
工作距离
90--100mm
真空腔
材料
铝合金
腔体容积
9L
12L
整体尺寸
900*900*600
900*900*600
腔体内径
 280mm
 280mm
视窗尺寸
 50mm
 100mm
真空腔体窗口
标准石英窗口
防辐射屏窗口
 红外吸收窗口
真空度
 5E-4 torr
预留接口 
2个探针臂接口&2个电学接口
防辐射屏材料
不锈钢
冷却时间
120分钟到5K
150分钟到5K
冷源
 GM制冷机
专用振动隔离桌
 尺寸
800*800*800
900*900*800
桌推
 固定脚&滚轮

4K闭循环低温探针台 PSM-4K系列应用领域

半导体
集成电路
晶圆片

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