PSM-4K系列低温探针台是的一款性能优越的闭循环低温探针台,其紧凑型以及低振动的设计,能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个<5K-350K高低温真空测试环境。采用闭循环制冷,无需消耗液氦,温度4.5K。
特点
• 采用闭循环制冷,无需消耗液氦,温度4.5K。
• 探针臂的位移调节在真空腔外操作,可以在不破坏真空 的情况下,切换样品上的不同器件进行测试。
• 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节,能满足4英寸样品的测试。
• 真空腔材质为铝制材料,能够有效减小外界的电磁干扰,提高测试的精准度和稳定性。
• 探针臂采用三同轴接头,漏电性能好,实测漏电流小于100fA @1V@4.5K-350K。
• 测试温度范围宽,支持4.5K-350K连续变温。
• 独特设计的柔性探针,将探针安装到铜制弹片上,避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。