随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件，要去测试它的基本电学性能（如电流、电压、阻抗等），配有显微镜的高精度探针台能够提供良好的电测环境，通过显微镜和CCD将待测器件放大，用高精度微探针对待测器件进行扎针，再外接电学测试仪表进行测试和分析。此外，对于一些需要在高低温环境中测试的细小器件，那么高低温探针台是这种类型测试的不二选择。

液氮高低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。

PSM-LN2系列液氮高低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-800K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。

· 15分钟内腔体真空度可达到10E-4torr，液氮消耗量小，降到最低温度只需0.2L液氮，使用方便快捷同时兼顾经济性；

· 光学系统支持无级变倍，变倍比达1:15，物镜放大倍率为0.65X至10X，结合目镜及摄像系统，系统总放大倍数不低于450X；

· 制冷剂具有安全保护和温度自动控制系统，以及流量自动控制系统，可根据温度变化自动控制流速，节省制冷剂消耗；

· 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试；

· 独特的探针臂X-Y-Z-R四维调节，能满足最大4英寸样品的测试；

· 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰提高测试的精准度和稳定性；

· 探针臂采用三同轴接头，实测漏电流小于100fA@1V@80K-800K漏电性能好；

· 测试温度范围宽，最大支持80K-800K连续变温；

· 实现对深腔结构内微纳尺度的精确观测与测量；

· 测试臂与腔体实现热耦合，确保优异的等温性；

· 上盖采用翻盖结构，换样更便捷。