液氮高低温半自动真空探针台 PSM-LN2-6A
PSM-LN2-6A是一款专为微纳电子器件与材料研发设计的6英寸半自动液氮高低温探针台。它能够在80K至500K的宽温区内，提供稳定的高真空测试环境，实现对半导体芯片、集成电路、新材料（如二维材料、化合物半导体等）在低温条件下的精准电学性能测试。
液氮高低温半自动真空探针台 PSM-LN2-6A产品概述
核心优势
• 宽温区与快速降温：采用高效液氮制冷系统，仅需消耗1L液氮即可快速降至最低温度80K，降温迅速，使用经济；
• 高真空性能：真空腔体可达到10-5Torr量级的高真空度，有效隔绝外界干扰，确保测试数据的准确性与稳定性；
• 半自动精准操控：样品台支持手动与半自动结合的移动控制方式（XYZ电动定位精度≤3 μm），简化扎针流程，提升测试效率与操作体验；
• 卓越的测试精度：探针臂采用三同轴接头，在80K-500K全温区内实测漏电流低于50fA，满足高精度、低漏电的严苛测试需求。
产品特点
• 精密光学观测系统：配备无级变倍光学系统，系统总放大倍数不低于180X，分辨率不低于2微米，可实现纳米级器件的清晰观测与精准定位；
• 探针臂三维可调节：探针臂支持X-Y-Z三维手动精密调节，行程：12mm×12mm×12mm；
• 智能温控与节能：具备温度与流量自动控制系统，可根据实验需求自动调节液氮流速，兼顾控温精度与制冷剂消耗；
• 稳定的结构设计：铝制真空腔体有效减小电磁干扰；测试臂与腔体热耦合设计，确保腔内优异的等温性。
液氮高低温半自动真空探针台 PSM-LN2-6A技术参数
一、核心规格
样品台尺寸：≥ 6英寸
样品台材质：无氧铜镀金
样品台表面平整度： ≤20 μm
样品固定方式： 真空吸附，可固定整片与局部晶圆
控制方式： 手动及半自动系统结合
二、 温控系统
制冷方式： 液氮
控温范围： 80K ~ 500K
温度稳定性： ±0.2K
控温分辨率： ≤ 0.01K
控制特性： 自增压，流速自动调节
三、真空系统
铝制O圈密封真空腔体
极限真空度： ≤ 10-5Torr
四、 运动与定位
样品台行程：
XY： ≥ 150mm (电动)、Z： ≥ 10mm (电动)、Q (旋转)： ≥ ±5° (电动)
定位精度：
XYZ： ≤ 3 μm (电动)、Q (旋转)： ≤ ±0.001° (电动)
五、 探针系统
探针臂数量： 4个
探针臂类型： 三维位移探针座，兼容高低温
探针臂接口： 三同轴接口
系统漏电流： ≤ 50fA
移动行程： X, Y, Z 各轴 ≥ 12mm
移动分辨率： ≤ 2 μm
六、 光学观测系统
显微镜类型： XYZ 可编程电动显微镜
显微镜放大倍率： 10X - 180X
分辨率： ≤ 2 μm
相机： ≥ 300万像素，带HDMI输出
