HX5N0系列全自动探针台是专业综合型高效的全自动自动晶圆探针台，具有节省空间，高效率等特点，适用于4英寸、5英寸晶圆，包含二极管，三极管，MOSFET管、光电器件、传感器和垂直结构芯片之测量，可选配多针测试功能，可实现多颗同时测量之要求，提高机器的测试产能。

产品特点：

  适用于晶圆高速自动测试，支持多路测试功能，有多样灵活的测试方式及丰富的数据处理功能。 可实现自动扫描、对准定位功能。产品也可依据不同需求定制开发各种附加功能。该结构采用一台全自动和半自动搭配而成，全自动探针台也可以单独使用，具有自动上下片功能，同时，该晶舟后方有待测晶舟缓冲区，支持测试车间自动化，自动加载晶舟，可实现测试车间无人化。

软件功能介绍
1.可测试圆片，测试范围可选，支持隔行抽测和环形测试，MAP图可以编辑测试；
2.支持坏点重测；
3.具备离线打点、同步打点功能；
4.具备接触缓冲功能，针痕稳定；
5.运行精度补偿功能，保证测试的稳定性；
6.测试良率、总数、速度显示；
7.CCD图像自动对准定位；
8.设备具备一定的抗干扰能力，支持高低温测试，运行稳定；
9.多BIN分类测试，测试数据可以存储，可以导出，兼容后道设备格式使用，具有数据统计分析功能；
10.操作员，管理员，系统厂家权限管理功能；