HX80N系列半自动探针台
HX80N系列半自动探针台是定制类适用于传感器晶圆测试综合型晶圆探针台，具有很好的测试精度，可搭配定制型仪表系统，完成诸如光电传感器、压力传感器和气体传感器等测试。
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HX80N系列半自动探针台产品概述
HX80N系列半自动探针台是定制类适用于传感器晶圆测试综合型晶圆探针台，具有很好的测试精度，可搭配定制型仪表系统，完成诸如光电传感器、压力传感器和气体传感器等测试。
软件功能介绍
• 可测试圆片，测试范围可选，支持隔行抽测和环形测试MAP图可以编辑测试；
• 支持坏点重测；
• 具备离线打点、同步打点功能；
• 具备接触缓冲功能，针痕稳定；
• 运行精度补偿功能，保证测试的稳定性；
• 测试良率、总数、速度显示；
• CCD图像自动对准和定位；
• 设备具备一定的抗干扰能力，支持高低温测试，运行稳定；
• 多BIN分类测试，测试数据可以存储，可以导出，兼容后道设备格式使用，具有数据统计分析功能；
• 操作员，管理员，系统厂家权限管理功能
HX80N系列半自动探针台技术参数
参数和指标：
| 性能名称 | 技术指标 | |
| 可测片径 | 6″、12″ | |
| XY工作台 | 结构 | 直线电机 |
| 行程 | 350mm × 400mm，分辨率：1μm | |
| 速度 | ＞150mm/s | |
| 定位精度 | ≤±2μm | |
| 承片台 | Z向行程 | 10mm，分辨率：1μm |
| Z台精度 | ≤±1μm | |
| Z向分辨率 | ≤±0.5μm | |
| θ向调节范围 | ±25° | |
| θ向分辨率 | 0.006° | |
| 显微镜/视频显示系统 | 双目体视显微镜/可选配三目显微镜及CCD实时视频显示装置 | |
