上海懿宏科学仪器有限公司

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产品介绍

使用Sumitiomo 公司的4K闭循环制冷机,不需要消耗液氦和液氮,CRX-VF能提供的水平区域电磁场场强为6.0KOe(0.6T),它的温度变化范围是8K-400K。加入高温选件可测量的温度变化范围是20K-500K。每一个低温样品级都安装温度计和加热器,可以提供快速的热响应,快速迅速回到室温,样品更换非常方便。热辐射屏大大降低了黑体辐射,确保有很小的热梯度。

系统采用了精心的设计来减低振动,采用各种减震装置阻止机械振动影响测量的性能。在全量程温度范围内,样品的振动小于1um ( X, Y, Z轴)。

美国 Lake Shore CRX-EM-HF最多可安装4个可以进行微调整的探针臂,每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。微波探头可以±5°旋转,使样品可以更好的和探针匹配。360°样品台旋转选件允许你测量角度和测量器件的各异向性磁运输特性。专用的探针根据尺寸和材料不同,分为多种类型,探针减少了热质量,优化了和器件的电接触性。每个探针都直接和冷头进行导热,这样就减小了探针对样品的热传递。

 


 

产品特点

    ●     0.6T水平方向电磁铁磁场

    ●     采用闭循环制冷机制冷,不需消耗任何液氮或液氦,基本系统温度范围:8K到400K

    ●    探针臂传上安装温度感器进行温度监测

    ●    控温稳定性:±50mK

    ●    系统冷却时间<4.5小时

    ●    低振动设计:在样品台<1μm ( X, Y, Z轴)

    ●    测量DC到67GHz

    ●    各种样品架适于低噪音,高频,高阻测量

    ●    最大测试样品尺寸51mm(2in)直径

    ●    最多可使用6个探针臂

    ●    探针臂可进行3轴调整和平面内±5度的调整

 

CRX-EM-HF无液氦水平电磁场闭循环制冷机低温探针台技术参数

温度
温度范围标准温度范围:8K到400K

高温选件温度范围:20K到500K
温度稳定性±50mK
磁场
最大磁场6koe(0.6T)
磁场均匀区(70A)
10mm 直径wafer0.6%
12.7mm直径wafer1.1%
20mm直径wafer2%
25.4mm直径wafer2.6%
加热器温度控制
样品台100W
辐射防护屏50W
二级冷头50W
一级冷头100W
探针臂只监视温度
系统振动指标
振幅( X, Y, Z轴)<1um 峰峰值,样品台
探针臂行程及分辨率
X轴51mm(2inch),20μm分辨率
Y轴25mm (1inch),10μm分辨率
Z轴18mm (0.7inch),10μm分辨率
样品架转动

360度(选件)
系统真空指标
室温真空度10-4Torr
光学分辨率-显微镜
7:1 Zoom8微米

 

CRX-EM-HF无液氦水平电磁场闭循环制冷机低温探针台基本系统组成

闭循环样品台制冷机- SHI RDK-408D210K(最低温度),10K到350K(控制温度)
样品台温度传感器Lake Shore CX-1050-CU 标定的Cernox温度计
二级冷头温度传感器Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计
一级温度传感器Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计
样品台加热器100W
二级冷头加热器50W
一级冷头加热器100W
磁场
电磁场强度6kOe(0.6T),水平区域
冷却水流速7.6L/min(2gal/min)
电磁体电源Lake Shore 643
输出形式双极,线型,4象限,直流电流源
电流±70A
电压±35V
冷却水流速5.7L/min(1.5gal/min)
高斯计和霍尔探头Lake Shore 475带探头(控制和监视)
冷辐射屏和红外吸收窗口
温度传感器Lake Shore DT-670-CU 硅二级管温度计
防辐射屏加热器50W
上盖可打开,带视窗¢50mm(2inch)窗口
温度控制器2台Lake Shore 336温度控制器(分别控制样品台、磁体、辐射防护屏、一级冷头;监视二级冷头和探针臂的温度)
真空腔体
外部尺寸340mm×203mm(13.4in×8in)
上盖可打开,带清晰的熔凝石英窗口¢54mm(2.13inch)窗口
探针臂开口4个等间距的开口
泵口NW-40,(真空泵需要另外订购)
安全阀NW-25
铝制底座787mm x 419mm (31 in × 16.5 in)
支架低振动,焊接不锈钢减震支架
一个探针臂上安装温度计,用来监视探针臂温度
接地样品架SH-1.25-G,最大可测量样品尺寸¢32mm(1.25inch)和25mm(1 in)探测区域探测
光学
Zoom 70显微镜4μm分辨率
彩色CCD相机S端子输出和复合输出
扫描镜头臂镜头的调整臂可以进行旋转、上下升降、前后移动,这样确保在整个样品架范围内对样品进行观察,在更换样品的时候,也可以把调整臂旋转到一侧,方便更换。
显示器17in显示器
样品照明设备同轴灯和环形灯
仪器控制柜
基本工具、备件和清洁工具