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真空计控制器和规管

 

  • • 安捷伦提供从从粗真空、高真空直至超高真空的全系列真空规管,如Convectorr 系列、PVG系列、CDG系列、IMG系列、FRG系列和UHV系列等;

  • • XGS600真空计控制器可多路同时工作,最多可控制12路,可同时切换使用,最多8路测量值可以同时显示,同时提供完善的可编程RS-232/485串口通讯,极大的方便了整个真空系统的控制和数值读取;

  • • RGC-100/RGC-150真空计控制器可以简便的实现两路低真空测量;

  • • AGC-100/AGD-100真空计控制器是单通道控制器,可以自动识别真空计种类,不需要控制板。

 

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科研及工业应用中的真空测量

“可靠、精确、高效”,安捷伦真空规管和真空计控制器可在广泛领域内完成对真空系统的测量和控制。
• 安捷伦真空测量技术,为复杂的工业应用环境而生。简约的设计、简便的操作,将保证您真空系统或真空工艺的省时、高效
• 逾50 年的科研领域经验中,我们的仪器超级准确、稳定的特性,完全符合科研院所的要求。同时,通过STARRS Calibration 和支持系统,安捷伦为您提供终极精确测量 • 目前,主要分成以下三类:XGS-600、RGC-100/RGC-150、AGC-100/AGD-100

 

 

XGS-600 真空计控制器

 

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①简便的键盘操作

②直观的显示面板
• 可同时切换使用最多可显示8 路
• 用户自定义标志

③友好用户界面

④智能化的设计和功能
• 多路同时工作- 最多12 路
•<20 毫秒设定点反应时间
• 八路测量值同时显示
• 强大的标配功能
- 8 路规管设定值
- 完善的可编程RS-232/485 串口通讯
- E-beam 热灯丝规管除气;
- 多种单位选择:Torr、Mbar、Pascal
- 全球电压标准接入;
- 模拟量输出

⑤功能性、灵活性和扩展性
仅需三种驱动板即可驱动所有真空计
• 需要时,仅需插入电路板即可- 简便、快速
• 无需重复购买多台真空计控制器- 经济、高效

强大的多路同时工作能力
• 可同时驱动4 路热阴极规管+ 4 路ConvecTorr 规管;
• 可同时驱动5 路反式冷阴极规管
• 可同时驱动12 路ConvecTorr 规管

 

 

RGC-100/RGC-150低真空计控制器

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1X10-3 Torr 到760 Torr 的可靠经济解决方案。热耦规和线缆预校准。
• 可以立即安装操作
• 简便的两路设定点
• 大LED 高亮显示屏

 

 

AGC-100/AGD-100主动式真空计控制器

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单通道控制器可以对FRG-,PVG-,PCG-以及CDG- 系列真空计进行操作。为用户提供可选组件,可调设定点。
• 易安装
• 自动识别真空计种类
• 设定点控制


真空范围

真空计
(需配控制器使用)

控制板
真空计控制器
低真空
大气压-10-3
536 具有与ConvecTorr 相同的质量、精度和读 数可重复性
热传导规
控制板
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XGS-600
真空计控制器
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ConvecTorr集成快递反应能力和优异灵敏度、线性能力于一体,可覆盖完整低真空范围。
531 最经济的粗真空规
高真空
10-3-10-9
572 玻璃真空规,最常用的通用热灯丝高真空规(内含两根灯丝)
热灯丝高真空规
控制板
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571 无镀铂与563 相同,无Pt 涂层
563 通用性极佳的热灯丝高真空规,在测量范围内具有优异的性能和可靠性
MBA-100 单根灯丝MBA-200 双灯丝无玻壳(防裂)热灯丝高真空规
IMG-100 最耐用的冷阴极高真空规,响应快速
冷阴极高真空规
控制板
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超高真空
10-9-10-12
UHV-24 最常用的热灯丝超高真空规UHV-24p 具有最高测量范围的热灯丝超高真空规
热灯丝高真空规
控制板
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IMG-300 经久耐用,超高真空规(冷阴极);反应灵敏。
冷阴极高真空规
控制板
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XGS-600
analog 控制板

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CT-100坚牢固耐用,信得信赖
 
低真空领域的通用测量与控制
PVG-500紧凑耐用,不锈钢传感器
 
前级真空度的监测
控制高真空电离规
真空系统的安全性监测
中、低真空领域的通用测量与
控制
Load lock 控制
CDG-500全量程,一键归零和设定点
 
通用薄膜和真空工艺设备
工业真空工艺设备
数据存储和显示器生产设备
刻蚀、CVD、PVD 和其它半导
体加工工艺
测试设备参考传感器
追踪测量设备的转换控制
主动式真空计控制器
AGC-100/AGD-100:上海懿宏科学仪器有限公司
不需要控制板,成本底,可自动识别真空计
PCG-750CDG 和皮拉尼复合式
 
前级真空度的监测
控制高真空电离规
真空系统的安全性监测
中、低真空领域的通用测量与
控制
Load lock 控制
FRG-700热阴极/皮拉尼复合式,从大气压到高真空的全量程真空计
 
高真空监测
排气和溅射系统的本底真空度
测量
中、高真空领域的通用测量与
控制
FRG-720/730热阴极/皮拉尼式复合式全量程
 
多领域应用:工业镀膜系统、半
导体工艺设备、科研和实验室
领域
高、超高真空领域的通用测量
与控制