上海懿宏科学仪器有限公司

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安捷伦氦质谱检漏仪,是一款安捷伦生产的进口氦质谱检漏仪。


氦质谱检漏仪(MSLD)
选择性氦离子探测仪(SIPD)

便携式
台式
移动式
移动式
模块式
手持吸枪式
订货号
G8600A
G8600B
G8602A
G8602B
G8601A
G8601B

G8603A

型号
VS PR02
VS PD03
VS BR15
VS BD30
VS MR15
VS MD30
959
VS C15
PHD-4
前级泵

DS 42
油封旋片泵

干式泵
组合
DS 302
油封旋片泵

TriScroll 620
旋涡式干泵

DS 302 油封旋片泵
TriScroll 620
涡旋式干泵
涡旋式干泵或油封旋片泵
分子泵
名义抽速m3/hr (l/min)
2 (34)
3 (50)
14 (232)
30 (500)
14 (232)
30 (500)
根据需要选配
根据需要选配
最小可检漏
5 x 10-12 atm cc/sec: 5 x 10-12 mbar l/s: 5 x 10-13 Pa m3/sec
2 x 10-9 atm cc/sec
5 x 10-10 atm cc/sec
5 x 10-6 atm cc/sec
5 x 10-6 mbar l/s
5 x 10-7 Pa m3/sec
最大测试口压力
13 mbar: 10 Torr: 1330 Pa
1 Torr
5 Torr, 7 mbar, 667 Pa
校准
自动或手动(内部或外部)
手动
自动或手动(内部或外部)
氦本底清零
一键式自动清零(自动本底追踪)
手动
一键式自动清零(自动本底追踪)
自动或手动
通讯接口
RS232 和analog (标配)、I/O 接口(选配)
Analog
RS232, analog, I/O 接口,和Profinet
Analog 和RS-232串口(标配)
设定点
5 个设定点(N/O 或N/C)(3 个漏率,1 个压力,1 个音频)
与VS 系列相同

远程显示/控制
可选件
可选件

标准
CE, UL/CSA
UL/CSA, CE Approved
CE, CSA/US