上海懿宏科学仪器有限公司

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安捷伦分子泵

• 安捷伦提供从TV84FS,TV304FS,TV551,TV701,TV1001,TV2300等不同抽速大小的分子泵,以满足客户不同的应用需求。

 

• 安捷伦分子泵采用最新的3级TwissTorr 拖动级技术,通过分子泵旋转盘面,提高气体分子动能,从而有效提高抽速和极高的压缩比。最新的拖动级技术与上一代设计相比,功耗降低了20%;

 

• 安捷伦分子泵采用了最新的悬浮技术AFS,悬浮转子,能够有限改善震动。AFS提供了超高精度,确保轴承对准。同时径向静止设计,极大优化转子运动形态和降低噪音;

 


Agilent TwisTorr Technology*

• 通过分子泵旋转盘面,提高气体分子动能,从而有效提高抽速

• 气体分子跟随定子上的螺旋槽运动,可以确保抽速一定的情况下,避免压力梯度,达到降低功耗的目的

(*) US Patents applications 12/343961 and 12/343980, 24 Dec. 2008.

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向心力运动

转子下表面带动分子做运动。

拖动盘上的螺旋凹槽将迫使分子向内运动(图中蓝色所示)

离心力运动

转子上表面带动分子做运动。

拖动盘上的螺旋凹槽将迫使分子向外运动。(图中红色所示)

 

领导前沿科技

• TwisTorr 分子泵提高对所有气体的抽离

• 在现有的分子泵中,TwisTorr 分子泵提供了最高的压缩比

• 最新设计的高效拖动级,与上一代设计比较,功耗降低了20%

 

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气体在拖动级
之间,向心及
离心运动

 

空间设计

• 安捷伦一体化转子设计、TwissTorr 拖动盘有效降低转子之间的容积,从而提高抽速

• 双面选择凹槽,提高向心力及离心力,同时极大的减少拖动级空间

 

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压缩比

•同样的空间及转速下,单机 TwissTorr 拖动级对N2的压缩比百倍于上一代的 TwissTorr ,同时抽速及前级耐压并无降低



Turbo-V 81-M
Turbo-V 81 T
TwisTorr 304 FS
Turbo-V 551
Turbo-V 2300 TwisTorr Rack
抽速l/s
DN 40
DN 63
DN 40
DN 63
DN 100
DN 160
DN 100
DN 160
DN 250
氮气
50
77
50
77
250
250
350
550
2050
氩气
48
70


250
250



氦气
56
65
56
65
255
255
450
600
1800
氢气
46
50
46
50
220
220
450
510
1500
压缩比

氮气
3 x 108
7 x 106
7 x 108
7 x 108
> 1 x 1011
> 10 mbar
1 x 109
1 x 109
>8 x 108
氩气
8 x 109
8 x 109


> 1 x 1011
> 10 mbar



氦气
8 x 104
8 x 104
3 x 103
3 x 103
> 1 x 108
> 10 mbar
1 x 107
1 x 107
8 x 105
氢气
7 x 103
7 x 103
3 x 102
3 x 102
1.5 x 106
> 4 mbar
1 x 106
1 x 106
4 x 104

极限压强mbar*
(使用推荐的机械前级泵)

5 x 10-105 x 10-10
5 x 10-95 x 10-9
< 1 x 10-10< 1 x 10-10
<1 x 10-10<1 x 10-10
10-10 (7.5 x 10-11Torr) (**)
进气口法兰
ISO 63/CF 4 1/2
KF 40/CF 2 3/4
CFF 4.5” O.D. ISO 63
CFF 2.75” O.D. KF 40
CFF 8” O.D. ISO 160
CFF 6” O.D. ISO 100
ISO 160/CF 6”
ISO 160-F/CF 8”
ISO 250F, CFF 12” O.D.
前级法兰
KF 16
KF 16
KF16 (KF25 – optional)
KF 25
KF 40
转速
1350 Hz (max)
1350 Hz (max)
60000 rpm (1010 Hz driving
frequency)
700 Hz
33300 rpm
启动时间(全速的90%)
< 60 seconds
< 60 seconds
< 3 minutes
< 5 Mins
< 6 minutes
推荐前级泵
DS42 - DS102
IDP-2, IDP-3, SH-110
DS42 - DS102
IDP-2, IDP-3, SH-110
DS 102
SH 110
DS302, TS300
TriScroll 600
安装位置
360 度任意角度安装
360 度任意角度安装
360 度任意角度安装
360 度任意角度安装
360 度任意角度安装
冷却方式
强制风冷(up to 35 °C ambient temp.)
水冷(corrosion resistant loop)
强制风冷(up to 35 °C ambient temp.)
水冷(corrosion resistant loop
强制风冷(5-35 °C ambient temperature)
水冷(mandatory if ambient
temperature > 35 °C)
强制风冷(up to 35 °C ambient temp.)
水冷(corrosion resistant loop)
Recommended flow: 200 l/h
Temperature: +15 °C to +30 °C
Pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 psi)
烘烤法兰耐温
120 °C (CFF), 80 °C (ISO)
120 °C (CFF), 80 °C (ISO)
120 °C (CFF), 80 °C (ISO)
120 °C (CFF), 80 °C (ISO)
120 °C (CFF), 80 °C (ISO)
噪声(全速,无负载)
< 42 dB (A) at 1 meter
< 42 dB (A) at 1 meter
< 50 dB(A) at 1 meter
< 52 dB(A) at 1 meter
< 60 dB (A) at 1 meter
存储温度
-20 °C to +70 °C
-20 °C to +70 °C
-40 °C to +70 °C
-20 °C to +70 °C
-20 °C to +70 °C
认证
CE, C_CSA_US, ROHS compliant
CE, C_CSA_US, ROHS compliant
CE, C_CSA_US, ROHS compliant
CE, C_CSA_US, ROHS compliant
CE, C_CSA_US, ROHS compliant
吹扫和放气
Standard Purge & Vent ports
Automated Purge/Vent device
(accessory)
Standard Purge & Vent ports
Automated Purge/Vent device
(accessory)
Standard Purge & Vent ports
Automated Purge/Vent device
(accessory)
Standard Purge & Vent ports
Automated Purge/Vent device
(accessory)
Standard Purge & Vent ports
Automated Purge/Vent device
(accessory)
重量(kg/lbs)
ISO: 2 (4.4)
CF: 2.98 (6.57)
ISO 63: 1.82 (4)
CF : 2.68 (5.90)
Pump ISO 100 K 5.5 (12.3)
Pump CFF 6” 7.5 (16.5)
Pump ISO 160 K 5.7 (12.6)
Pump CFF 8” 9.7 (20.9)
ISO: 19.4 (43.0)
CF: 23.4 (51.6)
ISO 250: 54.2 (119.5)
CF 12”: 55.3 (121.9)
输入电压
100 – 240 Vac (± 10%)
100 – 240 Vac (± 10%)
100 – 240 Vac (± 10%)
100 – 240 Vac (± 10%)
100 – 240 Vac (± 10%)
输入频率
50 – 60 Hz
50 – 60 Hz
50 – 60 Hz
50 – 60 Hz
50 – 60 Hz
最大输入功率
210 W
210 W
300 W
600 W
1300 W
最大输出功率
100 W
100 W
150 W
325 W
560 W
通信接口
Navigator standard remote I/O
RS 232, RS 485 serial
Can accept Internal Profibus board
Navigator standard remote I/O
RS 232, RS 485 serial
Can accept Internal Profibus board
Navigator standard remote I/O
RS 232, RS 485 serial
Can accept Internal Profibus board
Navigator standard remote I/O
RS 232, RS 485 serial
Can accept Internal Profibus board
Navigator standard remote I/O
RS 232, RS 485 serial
Can accept Internal Profibus board
保护等级
IP 20
IP 20
IP 20
IP 20
IP 20
数据记录
Standard
Standard
Standard
Standard
Standard
停泵速率读取
Standard
Standard
Standard
Standard
Standard
主动停机
Standard
Standard
Standard
Standard
Standard
自动冲气/放气控制
Standard
Standard
Standard
Standard
Standard
规管读取
2 ports compatible with Agilent gauges
2 ports compatible with Agilent gauges
2 ports compatible with Agilent gauges
2 ports compatible with Agilent gauges
2 ports compatible with Agilent gauges

(*): According to Pneurop 5608 III, TS 300 PRIMARY PUMP, NO INLET SCREEN 
(*): WITHOUT INLET SCREEN
(*): According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a CFF flange and using the recommended pre-vacuum pump