Vacuum Research公司介绍

美国Vacuum Research真空公司(VRC) 从1953年起就开始制造真空阀门, 目前VRC作为世界上最知名的真空阀门制造商, 其产品广泛应用于半导体制造业, 物理学研究, 化工净化和真空设备制造等行业. 如离子注入设备, 加速器, 回旋加速器, 电子束焊接设备, 质谱仪, 空间模拟器, 镀膜机, 真空炉等.

 

VRC的阀门产品具有如下特点

真空阀门材料及选件:不锈钢或铝制阀门, 手动/电动/气动操作, 装配有阀门位置指示装置, 选配限位开关; 阀体上可以集成真空规管接口和粗抽接口.
接口形状及尺寸:圆形或方形;接口尺寸从KF-16到900mm,1英寸到36英寸, 是世界上极少的几个可以提供超大口径真空插板阀的厂家之一.
法兰规格:ANSI,ISO,JIS或Conflat
标准的VRC真空插板阀运行250000次无须维护, 更有百万次使用无须维护的版本可以提供.
所有的VRC真空插板阀都可以在断电情况下迅速关闭;气动的阀门即使在同时断电断气的情况下,也可是手动定位.
VRC的真空阀门在出厂前都经过了氦质谱检漏, 漏率小于2×10-9 scc/s.
阀板两侧允许最大3个大气压力的压差. 也提供更高压力的版本.
维护简单, 5分钟内可以更换全部部件.

下面是Vacuum Research的主要产品: