Feedthrough: 是用来提供电、气或流体从真空腔体外传输到真空腔体内的通道,Feedthrough即要保证真空的密封性、又要保证与真空腔体的电隔离性。有的时候人们也将Feedthrough称为穿通密封件。

Feddthrough基本上按照安装形式、绝缘材料、芯的材料来分类,主要类型如下:

 

图片 最大电压 最大电流 芯的数量 芯的尺寸(英寸) 类型
  2KV

16A

1到8

0.032&0.042

仪表、仪表用Feedthrough

  6KV

27A

1到4

0.05

电源用Feedthrough

5KV

5A

4到10

0.062

针头式Feedthrough

1KV

5A

3到41

0.04

多针头式Feedthrough

15KV

7.5A

1到4

0.03&0.037

迷你高压Feedthrough

25KV

185A

1到4

0.094&0.154&0.25

高功率电源Feedthrough

  8KV

100A

1到2

0.25&0.5&0.75

高功率电源Feedthrough(液体冷却)

  100KV

10A

1

0.062&0.156

高压Feedthrough

  14KV

300A

1到4

0.03&0.037

射频Feedthrough

- 15KV

385A

1到4

0.05&0.094&0.25

螺栓结构Feedthrough